Precision Nanometrology - Wei Gao:Sensors and Measur...

19.01.2012 Acted

Precision Nanometrology - Wei Gao:Sensors and Measur...

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Precision Nanometrology
Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing
Wei Gao
erschienen August 2010 | 355 Seiten, 337 schwarz-weiße Abbildungen, 3 schwarz-weiße Tabellen
Springer-Verlag GmbH
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